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一种安全性高的特气输送柜
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420243775.0
申请日：
2024-01-31
公开(公告)号：
CN221943932U
公开(公告)日：
2024-11-01
发明(设计)人：
胡双洋
申请人：
上海芯鸿霖半导体设备有限公司
申请人地址：
201100 上海市闵行区申昆路2177号18幢8层807室
IPC主分类号：
F17C13/00
IPC分类号：
F17C13/08
F17C1/00
代理机构：
北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514
代理人：
王海文
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-01 | 授权 | 授权 |