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干涉仪镜组及位移测量系统
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202410786902.6
申请日
:
2024-06-18
公开(公告)号
:
CN118836774A
公开(公告)日
:
2024-10-25
发明(设计)人
:
请求不公布姓名
请求不公布姓名
请求不公布姓名
申请人
:
北京华卓精科科技股份有限公司
申请人地址
:
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
IPC主分类号
:
G01B11/02
IPC分类号
:
G02B27/28
G02B17/02
G02B17/04
G03F7/20
G01B9/02
G01B9/02015
代理机构
:
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人
:
李文清
法律状态
:
公开
国省代码
:
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-10-25
公开
公开
2024-11-12
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/02申请日:20240618
共 50 条
[1]
干涉仪位移测量系统及方法
[P].
孙国华
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孙国华
;
高晓良
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高晓良
;
徐蕾
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徐蕾
.
中国专利
:CN112484647B
,2021-03-12
[2]
分光元件、光栅干涉仪及位移测量系统
[P].
高立冬
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机构:
北京华卓精科科技股份有限公司
北京华卓精科科技股份有限公司
高立冬
;
高磊
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机构:
北京华卓精科科技股份有限公司
北京华卓精科科技股份有限公司
高磊
;
崔琪
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机构:
北京华卓精科科技股份有限公司
北京华卓精科科技股份有限公司
崔琪
.
中国专利
:CN118936303A
,2024-11-12
[3]
光栅干涉仪及位移测量系统
[P].
请求不公布姓名
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机构:
北京华卓精科科技股份有限公司
北京华卓精科科技股份有限公司
请求不公布姓名
;
请求不公布姓名
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机构:
北京华卓精科科技股份有限公司
北京华卓精科科技股份有限公司
请求不公布姓名
.
中国专利
:CN118640801A
,2024-09-13
[4]
外差光纤干涉仪位移测量系统及方法
[P].
孙国华
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孙国华
;
程朝奎
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程朝奎
;
郭升莉
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郭升莉
.
中国专利
:CN112484648B
,2021-03-12
[5]
读数头、光栅干涉仪及位移测量系统
[P].
高磊
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机构:
北京华卓精科科技股份有限公司
北京华卓精科科技股份有限公司
高磊
;
高立冬
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机构:
北京华卓精科科技股份有限公司
北京华卓精科科技股份有限公司
高立冬
;
孙展
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机构:
北京华卓精科科技股份有限公司
北京华卓精科科技股份有限公司
孙展
.
中国专利
:CN118936301A
,2024-11-12
[6]
一种外差光栅干涉仪位移测量系统
[P].
张鸣
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张鸣
;
朱煜
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朱煜
;
王磊杰
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王磊杰
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胡金春
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胡金春
;
陈龙敏
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陈龙敏
;
杨开明
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杨开明
;
徐登峰
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徐登峰
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尹文生
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尹文生
;
穆海华
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穆海华
.
中国专利
:CN102944176A
,2013-02-27
[7]
一种双频光栅干涉仪位移测量系统
[P].
朱煜
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朱煜
;
张鸣
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张鸣
;
王磊杰
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王磊杰
;
胡金春
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胡金春
;
陈龙敏
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陈龙敏
;
杨开明
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杨开明
;
徐登峰
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徐登峰
;
尹文生
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尹文生
;
穆海华
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穆海华
.
中国专利
:CN102937411B
,2013-02-20
[8]
斐索干涉仪及干涉测量系统
[P].
宋金龙
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机构:
法博思(宁波)半导体设备有限公司
法博思(宁波)半导体设备有限公司
宋金龙
;
董磊
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机构:
法博思(宁波)半导体设备有限公司
法博思(宁波)半导体设备有限公司
董磊
;
张海
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机构:
法博思(宁波)半导体设备有限公司
法博思(宁波)半导体设备有限公司
张海
.
中国专利
:CN119164283A
,2024-12-20
[9]
斐索干涉仪及干涉测量系统
[P].
宋金龙
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机构:
法博思(宁波)半导体设备有限公司
法博思(宁波)半导体设备有限公司
宋金龙
;
董磊
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机构:
法博思(宁波)半导体设备有限公司
法博思(宁波)半导体设备有限公司
董磊
;
张海
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机构:
法博思(宁波)半导体设备有限公司
法博思(宁波)半导体设备有限公司
张海
.
中国专利
:CN119164283B
,2025-03-18
[10]
一种平面光栅干涉仪位移测量系统
[P].
朱煜
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朱煜
;
王磊杰
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王磊杰
;
张鸣
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张鸣
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夏野
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夏野
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成荣
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成荣
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叶伟楠
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叶伟楠
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杨开明
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杨开明
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倪畅
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倪畅
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丁思齐
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丁思齐
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贾喆
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贾喆
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李情情
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李情情
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王雨竹
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王雨竹
.
中国专利
:CN108106536A
,2018-06-01
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