研磨パッド、その製造方法、及び研磨加工物の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20200058412
申请日
2020-03-27
公开(公告)号
JP7539240B2
公开(公告)日
2024-08-23
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
B24B37/24
IPC分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[6]
研磨パッド、研磨パッドの製造方法、及び研磨加工物の製造方法[ja] [P]. 
SASATANI KENTA .
日本专利 :JP2024041370A ,2024-03-27
[7]
研磨パッド及び研磨加工物の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7716174B2 ,2025-07-31
[8]
研磨パッド及び研磨加工物の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6980509B2 ,2021-12-15
[9]
研磨パッド及び研磨加工物の製造方法[ja] [P]. 
MATSUOKA RYUMA ;
KURIHARA HIROSHI ;
NARUSHIMA SATSUKI ;
TAKAMIZAWA YAMATO .
日本专利 :JP2024174122A ,2024-12-13
[10]
研磨パッド及び研磨加工物の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7640673B2 ,2025-03-05