一种快速热处理设备及其温度控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411569865.X

申请日：

2024-11-06

公开(公告)号：

CN119092445A

公开(公告)日：

2024-12-06

发明(设计)人：

王文岩李浩

申请人：

新上联半导体设备（上海）有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区飞渡路55号2幢厂房A单元

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

F27D11/00 F27D19/00 H01L21/66

代理机构：

北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718

代理人：

余中燕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-17	授权	授权
2024-12-06	公开	公开
2025-06-27	专利权质押登记、变更及注销	专利权质押登记IPC(主分类):H01L 21/67登记号:Y2025980020727登记日:20250609出质人:新上联半导体设备（上海）有限公司质权人:上海浦创融资租赁有限公司发明名称:一种快速热处理设备及其温度控制方法申请日:20241106授权公告日:20250117
2024-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241106

共 50 条

[1]

一种快速热处理设备及其温度控制方法 [P].

王文岩 ;

李浩 .

中国专利 :CN119092445B ,2025-01-17

[2]

一种半导体热处理设备及其温度控制方法 [P].

王铁然 .

中国专利 :CN119710936A ,2025-03-28

[3]

热处理设备的温度补偿方法、温度控制方法及系统 [P].

王艾 ;

徐冬 ;

张乾 .

中国专利 :CN104102247A ,2014-10-15

[4]

热处理设备的温度补偿方法、温度控制方法及系统 [P].

王艾 ;

徐冬 ;

张乾 .

中国专利 :CN104076842B ,2014-10-01

[5]

热处理设备的温度补偿方法、温度控制方法及系统 [P].

王艾 ;

徐冬 ;

张乾 .

中国专利 :CN104090604B ,2014-10-08

[6]

板材温度控制方法、系统以及板材热处理设备 [P].

何宾宾 ;

李洪野 ;

王建伟 ;

杨学强 ;

张坤 ;

李丹 ;

解攀龙 ;

王磊 ;

褚晓峰 ;

周永杰 ;

田永生 ;

高朋 ;

孙勃 ;

李冠良 ;

王建 ;

孙维 .

中国专利 :CN119287134A ,2025-01-10

[7]

一种连续热处理可变温度控制设备 [P].

张玲 .

中国专利 :CN106868288A ,2017-06-20

[8]

一种晶圆热处理设备的温度控制方法 [P].

朱力 ;

贾智慧 .

中国专利 :CN117784840A ,2024-03-29

[9]

一种热处理温度控制方法及系统 [P].

李加全 ;

王槐春 ;

陈敬一 ;

杨靖 .

中国专利 :CN115421531B ,2022-12-02

[10]

一种半导体热处理设备的温度控制方法 [P].

朱力 ;

贾智慧 .

中国专利 :CN117784855A ,2024-03-29

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