大面积光栅曝光系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420275475.0

申请日：

2024-02-04

公开(公告)号：

CN222105677U

公开(公告)日：

2024-12-03

发明(设计)人：

赵家琦苏晓磊李屹

申请人：

深圳光峰科技股份有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区粤海街道学府路63号高新区联合总部大厦20-22楼

IPC主分类号：

G02B5/18

IPC分类号：

G03F7/00 G03F7/20

代理机构：

深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) 44351

代理人：

吕静

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

大面积光罩以及具有此大面积光罩的曝光系统 [P].

朴庸硕 ;

赵汉范 .

中国专利 :CN1448785A ,2003-10-15

[2]

偏振波前投影的大面积全息复制曝光系统 [P].

谭滔 ;

尹韶云 ;

胡超 ;

房启鹏 ;

陈建军 .

中国专利 :CN117806138A ,2024-04-02

[3]

大面积光栅光谱演示装置 [P].

王钢 ;

廖德驹 .

中国专利 :CN202230652U ,2012-05-23

[4]

光栅干涉曝光系统及方法 [P].

赵家琦 ;

严子深 ;

赵鹏 ;

李屹 .

中国专利 :CN119511638A ,2025-02-25

[5]

大面积光栅的制作方法 [P].

周克明 .

中国专利 :CN1088311A ,1994-06-22

[6]

大面积光栅的制作方法 [P].

杜保林 ;

张宁 ;

邱龙甲 ;

张鹏 ;

宋志远 ;

张海军 ;

刘龙飞 ;

谢意 ;

李瑞华 .

中国专利 :CN119471882A ,2025-02-18

[7]

一种大面积光栅刻划刀架系统 [P].

李晓天 ;

于海利 ;

唐玉国 ;

杨超 ;

齐向东 .

中国专利 :CN103645531A ,2014-03-19

[8]

干涉曝光系统、方法及光栅曝光系统 [P].

赵家琦 ;

刘志浩 ;

李屹 .

中国专利 :CN119758672A ,2025-04-04

[9]

光栅干涉曝光系统 [P].

赵家琦 ;

王珊 ;

严子深 ;

李屹 .

中国专利 :CN221261503U ,2024-07-02

[10]

一种基于参考光栅单次曝光的大面积全息光栅制备方法 [P].

李朝明 ;

吴建宏 ;

陈新荣 .

中国专利 :CN101382612A ,2009-03-11

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