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一种高对比度的晶圆级台阶标准片的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411226998.7
申请日：
2024-09-03
公开(公告)号：
CN119108265A
公开(公告)日：
2024-12-10
发明(设计)人：
吴子若
杜建立
申请人：
上海鉴影光学科技有限公司
申请人地址：
201100 上海市闵行区华宁路3333号18幢2楼北A区B1室
IPC主分类号：
H01L21/02
IPC分类号：
H01L21/308
H01L21/306
H01L21/66
G01N21/88
G01N21/95
G01N21/01
代理机构：
北京领果世纪知识产权代理有限公司 16221
代理人：
王杰
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-10 | 公开 | 公开 |
| 2024-12-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20240903 |