用于镀膜设备的顶部灯管加热器及镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420816828.3

申请日：

2024-04-18

公开(公告)号：

CN222100141U

公开(公告)日：

2024-12-03

发明(设计)人：

康家乐陆勇

申请人：

理想晶延半导体设备（上海）股份有限公司

申请人地址：

201614 上海市松江区思贤路3255号3幢402室

IPC主分类号：

C23C16/44

IPC分类号：

C23C16/46 H01L31/18

代理机构：

北京市万慧达律师事务所 11111

代理人：

邱忠贶

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

用于侧壁钝化镀膜设备的灯管加热器及镀膜设备 [P].

康家乐 ;

陆勇 .

中国专利 :CN222313289U ,2025-01-07

[2]

镀膜设备的加热器 [P].

张国钦 ;

王家炜 ;

周峙丞 .

中国专利 :CN202430284U ,2012-09-12

[3]

催化加热器及镀膜设备 [P].

朱鹤囡 ;

戴佳 ;

孔琪 ;

董雪迪 ;

林佳继 .

中国专利 :CN118726945A ,2024-10-01

[4]

一种镀膜设备的加热器 [P].

王二花 .

中国专利 :CN207227548U ,2018-04-13

[5]

气体加热器和镀膜设备 [P].

陈昌俊 ;

左敏 ;

胡磊 .

中国专利 :CN220818083U ,2024-04-19

[6]

镀膜设备用加热腔体及镀膜设备 [P].

李定伟 .

中国专利 :CN209338645U ,2019-09-03

[7]

一种真空镀膜设备的加热器及镀膜设备 [P].

孙健 ;

沈宇亮 ;

刘亚南 ;

李鑫 ;

刘欢 ;

粟子缘 .

中国专利 :CN221071630U ,2024-06-04

[8]

镀膜设备及用于镀膜设备的升华装置 [P].

宗坚 ;

韩辉 .

中国专利 :CN221117603U ,2024-06-11

[9]

镀膜设备及用于镀膜设备的升华装置 [P].

宗坚 ;

韩辉 .

中国专利 :CN220926929U ,2024-05-10

[10]

镀膜设备及用于镀膜设备的升华装置 [P].

宗坚 ;

韩辉 .

中国专利 :CN220926928U ,2024-05-10

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