一种类金刚石薄膜真空镀膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411070147.8

申请日：

2024-08-06

公开(公告)号：

CN118957523A

公开(公告)日：

2024-11-15

发明(设计)人：

张之荣杨续来

申请人：

合肥大学

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经开区锦绣大道99号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/54 C23C14/50 C23C14/06

代理机构：

上海笃学志远专利代理事务所(普通合伙) 31541

代理人：

陈飞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省合肥市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20240806
2024-11-15	公开	公开
2025-02-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种类金刚石薄膜真空镀膜装置 [P].

张之荣 ;

杨续来 .

中国专利 :CN118957523B ,2025-02-21

[2]

一种类金刚石薄膜用真空镀膜装置 [P].

胡冀 ;

占兵 ;

周家维 .

中国专利 :CN217173852U ,2022-08-12

[3]

一种大型类金刚石薄膜真空镀膜装置 [P].

史旭 .

中国专利 :CN206337307U ,2017-07-18

[4]

一种类金刚石膜用真空镀膜装置 [P].

陈强 ;

范道斌 ;

蒋斌 ;

卢文豪 ;

赵博文 ;

赵彩跃 ;

张明军 .

中国专利 :CN119571249A ,2025-03-07

[5]

一种类金刚石真空镀膜设备 [P].

戴亚峰 ;

陈舟 ;

吴文锋 ;

孙长江 ;

王宁 .

中国专利 :CN118703945A ,2024-09-27

[6]

一种类金刚石真空镀膜设备 [P].

戴亚峰 ;

陈舟 ;

吴文锋 ;

孙长江 ;

王宁 .

中国专利 :CN118703945B ,2024-11-29

[7]

一种类金刚石镀膜方法 [P].

王三胜 .

中国专利 :CN108330443A ,2018-07-27

[8]

一种类金刚石镀膜玻璃 [P].

王烁 ;

徐伯永 ;

宋宇 ;

李彬 ;

陈可明 ;

李鹏 .

中国专利 :CN201458976U ,2010-05-12

[9]

类金刚石薄膜镀膜方法 [P].

颜士杰 .

中国专利 :CN1796592A ,2006-07-05

[10]

一种高硬度类金刚石薄膜镀膜方法 [P].

金烈 ;

佘自力 .

中国专利 :CN120556030A ,2025-08-29

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