基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010692685.6

申请日：

2020-07-17

公开(公告)号：

CN111825056B

公开(公告)日：

2024-10-25

发明(设计)人：

刘红英刘光献顾春川邓敏樊凯李杜娟厉力华陈建龙

申请人：

杭州电子科技大学

申请人地址：

310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道2号大街1158号

IPC主分类号：

B81C1/00

IPC分类号：

G01Q60/38

代理机构：

浙江千克知识产权代理有限公司 33246

代理人：

周希良

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-25	授权	授权

共 50 条

[1]

基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针 [P].

刘红英 ;

刘光献 ;

顾春川 ;

邓敏 ;

樊凯 ;

李杜娟 ;

厉力华 ;

陈建龙 .

中国专利 :CN111825056A ,2020-10-27

[2]

基于电场与飞秒激光耦合作用微悬臂梁探针的成型方法 [P].

陈超 ;

黄日鹏 ;

朱伟华 ;

李子烨 ;

吴正扬 ;

张俐楠 .

中国专利 :CN113311195A ,2021-08-27

[3]

微悬臂梁探针的设计方法 [P].

谭新峰 ;

郭丹 ;

江亮 ;

师帅 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN110046366B ,2019-07-23

[4]

高灵敏微悬臂梁探针 [P].

孙宝恒 .

中国专利 :CN104698224A ,2015-06-10

[5]

悬臂梁的加工方法、装置及悬臂梁 [P].

刘瑞元 ;

胡俊飞 ;

侯立永 ;

梁小芃 .

中国专利 :CN118619198A ,2024-09-10

[6]

悬臂梁的制作方法、悬臂梁及MEMS器件 [P].

阮炯明 ;

张冬平 .

中国专利 :CN105329845B ,2016-02-17

[7]

悬臂梁轨道润滑结构及悬臂梁系统 [P].

栾治星 ;

张晓枫 ;

陈学辉 ;

刘东章 ;

张文韬 ;

赵健 .

中国专利 :CN223165371U ,2025-07-29

[8]

悬臂梁总装方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN104179162A ,2014-12-03

[9]

悬臂梁、其制造方法及包含该悬臂梁的MEMS器件 [P].

张林欣 ;

但强 ;

李杨 .

中国专利 :CN120589681A ,2025-09-05

[10]

不锈钢悬臂梁的飞秒激光加工方法 [P].

陆培祥 ;

王新林 ;

戴能利 ;

廖常锐 ;

常彦晓 ;

王英 ;

杨光 ;

李玉华 .

中国专利 :CN100446909C ,2007-05-30

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