非化学放大型多苯基取代金刚烷衍生物单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310435489.4

申请日：

2023-04-21

公开(公告)号：

CN118812400A

公开(公告)日：

2024-10-22

发明(设计)人：

陈金平王志昊李嫕曾毅于天君

申请人：

中国科学院理化技术研究所

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村东路29号

IPC主分类号：

C07C309/65

IPC分类号：

G03F7/039 G03F7/038 G03F7/004 H01L21/027 C07C309/73

代理机构：

北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535

代理人：

谢蓉;黄海丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C07C 309/65申请日:20230421
2024-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

树枝状多苯基取代金刚烷衍生物单分子树脂、正性光刻胶组合物和负性光刻胶组合物 [P].

陈金平 ;

李嫕 ;

于天君 ;

曾毅 .

中国专利 :CN107266319B ,2017-10-20

[2]

联苯取代金刚烷衍生物单分子树脂、正性光刻胶组合物和负性光刻胶组合物 [P].

陈金平 ;

李嫕 ;

于天君 ;

曾毅 .

中国专利 :CN107324978B ,2017-11-07

[3]

基于金刚烷的多硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用 [P].

李嫕 ;

刘卓然 ;

陈金平 ;

于天君 ;

曾毅 .

中国专利 :CN117658880A ,2024-03-08

[4]

基于金刚烷结构的叔醇类单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用 [P].

李嫕 ;

刘卓然 ;

陈金平 ;

曾毅 ;

于天君 .

中国专利 :CN118851883A ,2024-10-29

[5]

基于金刚烷结构的多苄基氯型单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用 [P].

陈金平 ;

刘卓然 ;

李嫕 ;

曾毅 ;

于天君 .

中国专利 :CN120271411A ,2025-07-08

[6]

基于杯芳烃的单分子树脂非化学放大光刻胶及其制备方法和应用 [P].

陈金平 ;

彭蓉蓉 ;

李嫕 ;

曾毅 ;

于天君 .

中国专利 :CN118084752A ,2024-05-28

[7]

基于金刚烷核心的多丙炔醇型的单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用 [P].

李嫕 ;

刘卓然 ;

陈金平 ;

曾毅 ;

于天君 .

中国专利 :CN118684557A ,2024-09-24

[8]

基于金刚烷核心的多丙炔醇型的单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用 [P].

李嫕 ;

刘卓然 ;

陈金平 ;

曾毅 ;

于天君 .

中国专利 :CN118684557B ,2024-12-03

[9]

基于四苯基锡的单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用 [P].

陈金平 ;

王志昊 ;

李嫕 ;

曾毅 ;

于天君 .

中国专利 :CN118812583A ,2024-10-22

[10]

含硅多苯基单分子树脂及其光刻胶组合物 [P].

陈金平 ;

李嫕 ;

张卫杰 ;

于天君 ;

曾毅 .

中国专利 :CN112142769B ,2020-12-29

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