一种间距测量装置及其测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410932734.7

申请日：

2024-07-12

公开(公告)号：

CN118857123A

公开(公告)日：

2024-10-29

发明(设计)人：

吴贵阳

申请人：

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

申请人地址：

518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区

IPC主分类号：

G01B11/14

IPC分类号：

G01B11/02 G01N21/01

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

郑军方

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/14申请日:20240712
2024-10-29	公开	公开

共 50 条

[1]

一种轨道间距动态测量装置及其测量方法 [P].

崔晓青 ;

李东海 ;

牛晓凯 ;

靳璞 ;

高西洋 ;

宋伟 ;

张晗 .

中国专利 :CN105091831A ,2015-11-25

[2]

一种罐道间距测量装置及其测量方法 [P].

韩颖 ;

苏海飞 ;

耿磊 ;

孟凡昌 ;

王丁 ;

孙强 ;

苗世壮 ;

刘丽 ;

解峰 ;

尚航 ;

崔梅 ;

李园 .

中国专利 :CN113155013A ,2021-07-23

[3]

一种半导体处理设备及其间距测量装置和间距测量方法 [P].

吕术亮 ;

李远 ;

徐立 ;

谢忠帅 ;

庄宇峰 ;

董维 ;

付海涛 .

中国专利 :CN120033102A ,2025-05-23

[4]

一种测量装置及其测量方法 [P].

张宜群 ;

倪崇本 ;

秦嘉岷 ;

吴发礼 .

中国专利 :CN106595541A ,2017-04-26

[5]

一种测量装置及其测量方法 [P].

倪崇本 ;

秦嘉岷 ;

毛屹伟 .

中国专利 :CN104764424A ,2015-07-08

[6]

一种活塞球窝间距测量装置及测量方法 [P].

王世林 .

中国专利 :CN110514160B ,2024-08-13

[7]

一种活塞球窝间距测量装置及测量方法 [P].

王世林 .

中国专利 :CN110514160A ,2019-11-29

[8]

一种物体间距测量装置及测量方法 [P].

伍文勇 .

中国专利 :CN112304206A ,2021-02-02

[9]

一种物体间距测量装置及测量方法 [P].

伍文勇 .

中国专利 :CN112304206B ,2025-03-14

[10]

一种连接件视觉测量装置及其测量方法 [P].

王飞阳 ;

庄金雷 ;

麻威强 ;

高靖 ;

曹雏清 ;

高云峰 .

中国专利 :CN110954024A ,2020-04-03

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