一种晶圆清洗机台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420743394.9

申请日：

2024-04-10

公开(公告)号：

CN222071891U

公开(公告)日：

2024-11-26

发明(设计)人：

陈嘉勇

申请人：

合肥晶合集成电路股份有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/687

代理机构：

上海汉之律师事务所 31378

代理人：

胡雨

法律状态：

授权

国省代码：

天津市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗机台 [P].

朱李鹏 ;

蒋橙澄 ;

仲树根 ;

刘志强 .

中国专利 :CN223624940U ,2025-12-02

[2]

晶圆清洗机台 [P].

杨志勇 ;

何永根 .

中国专利 :CN205845907U ,2016-12-28

[3]

晶圆清洗机台 [P].

吕慧超 ;

高英哲 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN209487474U ,2019-10-11

[4]

一种晶圆清洗机台 [P].

袁林涛 ;

张文福 ;

高英哲 .

中国专利 :CN208014670U ,2018-10-26

[5]

一种半导体晶圆清洗机台 [P].

翟文龙 .

中国专利 :CN216297286U ,2022-04-15

[6]

晶圆清洗机台及其晶圆清洗方法 [P].

吕相林 .

中国专利 :CN110223944A ,2019-09-10

[7]

一种自清洁式晶圆清洗机台 [P].

周志刚 ;

王静强 ;

徐福兴 ;

黄锡钦 ;

陈亮 .

中国专利 :CN217369466U ,2022-09-06

[8]

一种晶圆清洗机 [P].

王会敏 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 ;

尚玉晓 .

中国专利 :CN205718209U ,2016-11-23

[9]

一种晶圆清洗机用机台 [P].

黄运军 .

中国专利 :CN112309950B ,2021-02-02

[10]

静电消除装置以及晶圆清洗机台 [P].

季文明 ;

李晓艳 ;

任树朝 .

中国专利 :CN223066129U ,2025-07-04

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