化学物質送達システムと同化学物質送達システムの操作方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20200530317

申请日：

2018-12-07

公开(公告)号：

JP7401433B2

公开(公告)日：

2023-12-19

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C23C16/448

IPC分类号：

H01L21/31

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法律状态信息

共 50 条

[1]

化学物質送達システムと同化学物質送達システムの操作方法[ja] [P].

日本专利 :JP2021505758A ,2021-02-18

[2]

化学物質送達システム、装置及びその方法[ja] [P].

日本专利 :JP7583458B2 ,2024-11-14

[3]

化学物質送達システム、装置及びその方法[ja] [P].

日本专利 :JP2023504073A ,2023-02-01

[4]

液体送達システム[ja] [P].

日本专利 :JP2019518175A ,2019-06-27

[5]

液体送達システム[ja] [P].

CHRIS MELCER ;

PHILIP RYAN BARROS ;

KUBOTA HARUYUKI ;

RANDOLPH TREUR ;

TODD CUSHMAN ;

GREG PATRICK MULLIGAN .

日本专利 :JP2022046791A ,2022-03-23

[6]

液体送達システム[ja] [P].

日本专利 :JP2022172163A ,2022-11-15

[7]

化学物質センサシステム[ja] [P].

日本专利 :JPWO2003100057A1 ,2005-09-22

[8]

化学物質の生産システム及び化学物質の生産方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015029148A1 ,2017-03-02

[9]

化学物質流出警報提供システム[ja] [P].

日本专利 :JP7689252B2 ,2025-06-05

[10]

反応物質送達システム及びそれを含む反応器システム[ja] [P].

JACQUELINE WRENCH ;

ZHANG SHUAIDI ;

ARJAV PRAFULKUMAR VASHI ;

SHUBHAM GARG ;

TODD ROBERT DUNN ;

MOATAZ BELLAH MOUSA ;

JONATHAN BAKKE ;

IBRAHIM MOHAMED ;

PAUL MA ;

WANG BO ;

ERIC JAMES SHERO ;

JERELD LEE WINKLER .

日本专利 :JP2025106222A ,2025-07-15

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