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探测器控制装置、探测器控制方法以及探测器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280039695.7
申请日：
2022-05-09
公开(公告)号：
CN117425953B
公开(公告)日：
2024-11-08
发明(设计)人：
吉田彻夫
大竹俊辅
松冈达也
申请人：
株式会社东京精密
申请人地址：
日本国东京都
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
G01R31/28
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
韩丁
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20220509 |
| 2024-11-08 | 授权 | 授权 |
| 2024-01-19 | 公开 | 公开 |