一种多功能缓蚀剂及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411212122.7

申请日：

2024-08-30

公开(公告)号：

CN119082739A

公开(公告)日：

2024-12-06

发明(设计)人：

顾衡赵泽华蒋志顺

申请人：

宜兴汉光高新石化有限公司

申请人地址：

214200 江苏省无锡市宜兴市丁蜀镇陶都路478号

IPC主分类号：

C23F11/10

IPC分类号：

代理机构：

北京中济纬天专利代理有限公司 11429

代理人：

李迪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 11/10申请日:20240830
2024-12-06	公开	公开
2025-04-25	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):C23F 11/10申请公布日:20241206

共 50 条

[1]

多功能缓蚀剂及其制备方法 [P].

杜建卫 ;

刘键 .

中国专利 :CN1247816C ,2005-03-30

[2]

一种多功能缓蚀剂及其制备方法 [P].

江存 .

中国专利 :CN107419287B ,2017-12-01

[3]

一种多功能阻垢缓蚀剂及其制备方法 [P].

董升 ;

董嘉裕 .

中国专利 :CN113955868A ,2022-01-21

[4]

一种延迟焦化多功能缓蚀剂及其制备方法 [P].

林洪新 .

中国专利 :CN102776018A ,2012-11-14

[5]

一种多功能微胶囊型缓蚀剂及其制备方法 [P].

肖正刚 ;

孙娜 ;

孟祥军 .

中国专利 :CN105601456A ,2016-05-25

[6]

一种铜缓蚀剂及其制备方法 [P].

曹娇娇 ;

许凡 ;

吴雨萌 ;

柯顺安 ;

宋慧 ;

葛雨童 .

中国专利 :CN119491230A ,2025-02-21

[7]

一种酸化缓蚀剂及其制备方法 [P].

毕海涛 ;

周志权 ;

孙琳琳 ;

孙征宇 .

中国专利 :CN118421294A ,2024-08-02

[8]

一种铜缓蚀剂及其制备方法 [P].

曹娇娇 ;

吴雨萌 ;

许凡 ;

柯顺安 ;

宋慧 ;

葛雨童 .

中国专利 :CN119491229A ,2025-02-21

[9]

一种酸化缓蚀剂及其制备方法 [P].

毕海涛 ;

周志权 ;

孙琳琳 ;

孙征宇 .

中国专利 :CN118421294B ,2024-09-03

[10]

一种无毒缓蚀剂及其制备方法 [P].

韦红余 ;

毕萨德·海德塞纳斯 ;

张弛 ;

王宬钧 ;

周来水 ;

周晚林 ;

许旭敏 ;

杨文丽 .

中国专利 :CN111850567A ,2020-10-30

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