一种双台面曝光机及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410240848.5

申请日：

2024-03-04

公开(公告)号：

CN119024647A

公开(公告)日：

2024-11-26

发明(设计)人：

霍大云刘麟跃

申请人：

锡凡科技（滁州）有限公司

申请人地址：

239001 安徽省滁州市南谯区五尖山路与红花湖路交叉口东北侧

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

H05K3/06

代理机构：

无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228

代理人：

俞家涛

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-13	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240304
2024-11-26	公开	公开

共 50 条

[1]

双台面曝光机 [P].

林垂真 ;

周川 ;

张华 ;

吴越 ;

项铭 ;

向正西 ;

杜一 .

中国专利 :CN216873722U ,2022-07-01

[2]

双台面曝光机 [P].

陈志特 ;

王华 ;

冯明瑞 .

中国专利 :CN118226715A ,2024-06-21

[3]

双台面曝光机及控制双台面曝光机开关门的方法 [P].

张浩为 .

中国专利 :CN111308863A ,2020-06-19

[4]

双台面曝光机 [P].

陈志特 ;

王华 ;

冯明瑞 .

中国专利 :CN118226715B ,2024-12-24

[5]

一种双台面直写式曝光机的曝光系统和曝光方法 [P].

赵永翠 ;

陈海巍 .

中国专利 :CN106066581A ,2016-11-02

[6]

一种双台面激光直写式曝光机 [P].

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN208969430U ,2019-06-11

[7]

一种双台面直写式曝光机及其曝光方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109143797A ,2019-01-04

[8]

一种双台面直写式曝光机及其曝光方法 [P].

章卫平 ;

刘栋 ;

蔡瑞 ;

朱道龙 ;

李伟成 ;

张雷 .

中国专利 :CN112698549A ,2021-04-23

[9]

一种双台面直写式曝光机的曝光系统 [P].

赵永翠 ;

陈海巍 .

中国专利 :CN205862101U ,2017-01-04

[10]

悬臂式双台面的双面曝光机及双面曝光方法 [P].

汪孝军 ;

廖平强 ;

张胜 .

中国专利 :CN108873621B ,2018-11-23

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