探针台及其定位精度补偿方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411252914.7

申请日：

2024-09-09

公开(公告)号：

CN119024142A

公开(公告)日：

2024-11-26

发明(设计)人：

刘超张庆庆张恒

申请人：

昆山佰奥软件有限公司

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇龙华路8号1幢

IPC主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R1/073

代理机构：

苏州九方专利代理事务所(特殊普通合伙) 32398

代理人：

张小培

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-26	公开	公开
2024-12-13	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01R 31/28申请日:20240909

共 50 条

[1]

一种晶圆高温扎针精度补偿方法、装置和探针台 [P].

罗男生 ;

梁经伦 ;

郭龙龙 ;

张文涛 ;

陈金宇 ;

刘雨成 ;

胡晓增 .

中国专利 :CN120468628A ,2025-08-12

[2]

一种光学定位系统及其定位精度补偿方法及系统 [P].

贺望 .

中国专利 :CN118274713A ,2024-07-02

[3]

一种自动探针台运动误差补偿方法 [P].

刘洪 ;

苏中 ;

李擎 ;

刘宁 ;

梅迪 ;

王英剑 .

中国专利 :CN109709467A ,2019-05-03

[4]

一种空气透平试验台探针定位装置及其误差补偿方法 [P].

陈波 ;

杨奕昕 ;

尹健 ;

龚运环 ;

刘玲 .

中国专利 :CN106289788A ,2017-01-04

[5]

探针台故障检测方法及其系统、探针台及其使用方法 [P].

邱海斌 ;

严大生 ;

蔡育源 .

中国专利 :CN112986880A ,2021-06-18

[6]

一种探针压接装置的定位精度补偿系统及方法 [P].

王瑞亭 ;

姚毅 ;

陆豪亮 ;

华旭东 ;

徐兴光 ;

张见 .

中国专利 :CN108983460B ,2018-12-11

[7]

一种探针台及其高精度重负载探针升降机构 [P].

梁经伦 ;

张绍辉 ;

张文涛 ;

蒋泉生 ;

郑海烈 .

中国专利 :CN220690992U ,2024-03-29

[8]

MEMS探针、探针台和探针台的测试方法 [P].

黄隆霄 ;

陈国新 ;

王琴芳 .

中国专利 :CN120044281A ,2025-05-27

[9]

探针台快速拆装定位机构 [P].

梁维勇 ;

李伟 .

中国专利 :CN216097397U ,2022-03-22

[10]

探针台、探针插座、探针卡及其组合 [P].

刘俊良 .

中国专利 :CN101629971B ,2010-01-20

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