共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
基板を処理する際の均一性を制御するためのフェーズドアレイアンテナおよび方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20240524369
申请日：
2022-10-18
公开(公告)号：
JP2024538225A
公开(公告)日：
2024-10-18
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H05H1/46
IPC分类号：
H01L21/3065
H01L21/31
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |