化学气相沉积设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411199324.2

申请日：

2024-08-29

公开(公告)号：

CN119082867A

公开(公告)日：

2024-12-06

发明(设计)人：

卓倩倩

申请人：

西安奕斯伟材料科技股份有限公司

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

C30B29/06

IPC分类号：

C30B29/36 C30B25/16

代理机构：

西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253

代理人：

沈寒酉;李斌栋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 29/06申请日:20240829
2024-12-06	公开	公开

共 50 条

[1]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[2]

化学气相沉积设备 [P].

金昶成 ;

刘相德 ;

洪钟波 ;

沈智慧 ;

李元申 .

中国专利 :CN102230167A ,2011-11-02

[3]

化学气相沉积设备 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN202705462U ,2013-01-30

[4]

化学气相沉积设备 [P].

裴绍凯 .

中国专利 :CN102108498B ,2011-06-29

[5]

化学气相沉积设备 [P].

胡昌义 ;

雷春明 ;

毛勇 ;

郭锦新 ;

李靖华 ;

周世平 ;

徐云 ;

王云 ;

欧阳远良 .

中国专利 :CN2851277Y ,2006-12-27

[6]

化学气相沉积设备 [P].

朱人伟 ;

杨军 ;

朱瑶 ;

胡万春 .

中国专利 :CN222250974U ,2024-12-27

[7]

化学气相沉积设备 [P].

张祥来 ;

李相琝 .

中国专利 :CN101591774A ,2009-12-02

[8]

化学气相沉积设备 [P].

杨贤烁 .

中国专利 :CN221275883U ,2024-07-05

[9]

化学气相沉积设备 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN223176201U ,2025-08-01

[10]

化学气相沉积设备 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN103074615A ,2013-05-01

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