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真空泵及真空泵系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080060462.6
申请日：
2020-09-07
公开(公告)号：
CN114270049B
公开(公告)日：
2024-11-15
发明(设计)人：
市原孝一
桦泽刚志
申请人：
埃地沃兹日本有限公司
申请人地址：
日本千叶县
IPC主分类号：
F04D19/04
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
张泽洲;张一舟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-15 | 授权 | 授权 |