共 50 条
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处理液供给装置和处理液供给方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410613985.9
申请日：
2024-05-17
公开(公告)号：
CN119028869A
公开(公告)日：
2024-11-26
发明(设计)人：
桥本和也
赤田光
申请人：
东京毅力科创株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;张会华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-26 | 公开 | 公开 |