高纯度衬里结构的半导体化学品储罐加工用装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323470239.9

申请日：

2023-12-20

公开(公告)号：

CN221967591U

公开(公告)日：

2024-11-08

发明(设计)人：

宋国华

申请人：

无锡氟士德装备制造集团有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市惠山经济开发区前洲配套区惠和路15号

IPC主分类号：

B24B9/04

IPC分类号：

B24B41/04 B24B41/06 B24B47/12 B24B55/06

代理机构：

常州格策知识产权代理事务所(普通合伙) 32481

代理人：

陈磊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	授权	授权

共 50 条

[1]

高纯度衬里结构的半导体化学品储罐加工用喷涂装置 [P].

宋国华 .

中国专利 :CN117696320A ,2024-03-15

[2]

半导体用超纯化学品储罐的纯净灌装结构 [P].

宋国华 .

中国专利 :CN216512777U ,2022-05-13

[3]

储存半导体超化学品的防冻储罐 [P].

宋国华 .

中国专利 :CN210913748U ,2020-07-03

[4]

半导体用超纯化学品储罐的无杂质加工车间 [P].

宋国华 .

中国专利 :CN216498342U ,2022-05-13

[5]

耐腐蚀的半导体用超纯化学品储罐 [P].

宋国华 .

中国专利 :CN217397341U ,2022-09-09

[6]

储存半导体超化学品的防膨胀储罐 [P].

宋国华 .

中国专利 :CN210527378U ,2020-05-15

[7]

存储半导体超纯化学品的防震储罐 [P].

宋国华 .

中国专利 :CN210365204U ,2020-04-21

[8]

存储半导体超纯化学品的防爆储罐 [P].

宋国华 .

中国专利 :CN210456011U ,2020-05-05

[9]

具有回收利用的半导体用超纯化学品储罐 [P].

宋国华 .

中国专利 :CN216995901U ,2022-07-19

[10]

储存半导体超化学品的防冻储罐 [P].

宋国华 .

中国专利 :CN110294219B ,2024-03-26

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