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异常检测装置以及异常检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380013027.1
申请日：
2023-02-21
公开(公告)号：
CN118830054A
公开(公告)日：
2024-10-22
发明(设计)人：
森靖英
普拉桑特·库玛·夏尔玛
滨本真生
大森健史
申请人：
株式会社日立高新技术
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21/02
IPC分类号：
G05B19/418
G05B23/02
H01L21/3065
H01L21/66
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
吴秋明
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20230221 |
| 2024-10-22 | 公开 | 公开 |