共 50 条
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保持装置及び保持装置の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20200072143
申请日：
2020-04-14
公开(公告)号：
JP7498015B2
公开(公告)日：
2024-06-11
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
C04B35/581
C04B37/00
H05B3/02
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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