一种硅片检测仪器

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202323372853.1
申请日
2023-12-11
公开(公告)号
CN222126437U
公开(公告)日
2024-12-06
发明(设计)人
吴奇隆 梁跃 王永谦 陈刚
申请人
浙江爱旭太阳能科技有限公司 珠海富山爱旭太阳能科技有限公司 天津爱旭太阳能科技有限公司 广东爱旭科技有限公司
申请人地址
322009 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号
IPC主分类号
H01L21/67
IPC分类号
H01L21/677
代理机构
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人
胡枫
法律状态
授权
国省代码
安徽省 宣城市
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