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一种晶圆巡边定位设备用工件校正装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420063139.X
申请日：
2024-01-10
公开(公告)号：
CN222126478U
公开(公告)日：
2024-12-06
发明(设计)人：
郑兴农
王世锐
胡杰
申请人：
厦门特仪科技有限公司
申请人地址：
361000 福建省厦门市厦门火炬高新区软件园三期诚毅北大街56号402室-220
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/683
H01L21/67
G01L5/00
代理机构：
厦门大程丰创知识产权代理有限公司 35332
代理人：
黄伟敏
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-06 | 授权 | 授权 |