信息处理装置、信息处理方法、存储介质、曝光方法、基板处理装置以及物品的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410591699.7

申请日：

2024-05-14

公开(公告)号：

CN119225122A

公开(公告)日：

2024-12-31

发明(设计)人：

朝日亮吏栢森翔太

申请人：

佳能株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F9/00

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

孙蕾

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-31	公开	公开
2025-06-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240514

共 50 条

[1]

信息处理装置、信息处理方法、存储介质、曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

大豆生田吉广 .

日本专利 :CN117631467A ,2024-03-01

[2]

信息处理装置、信息处理方法以及物品的制造方法 [P].

根谷尚稔 ;

铃木彻 ;

山本将志 ;

米田慎吾 ;

黑泽良昭 ;

日置真则 .

中国专利 :CN114859663A ,2022-08-05

[3]

信息处理装置、曝光装置、以及物品制造方法 [P].

北川纯 ;

白尾纮祥 ;

米田慎吾 ;

木岛涉 ;

高井雄大 .

日本专利 :CN118974660A ,2024-11-15

[4]

信息处理装置、信息处理方法以及存储介质 [P].

岛田哲史 ;

中西和彦 ;

水野裕子 ;

松田昌幸 ;

前川卓也 ;

石山頼史 .

中国专利 :CN110689631B ,2020-01-14

[5]

信息处理装置、信息处理方法以及存储介质 [P].

小林优佳 ;

吉田尚水 ;

岩田宪治 ;

久岛務嗣 ;

永江尚义 .

日本专利 :CN117371424A ,2024-01-09

[6]

信息处理装置、信息处理方法以及存储介质 [P].

相原岳浩 .

日本专利 :CN114255303B ,2025-06-10

[7]

信息处理装置、信息处理方法以及存储介质 [P].

松冈克宏 .

日本专利 :CN114694414B ,2024-06-18

[8]

信息处理装置、信息处理方法以及存储介质 [P].

久岛務嗣 ;

吉田尚水 ;

岩田宪治 ;

小林优佳 ;

永江尚义 .

日本专利 :CN118297062A ,2024-07-05

[9]

信息处理装置、信息处理方法以及存储介质 [P].

今福洋介 .

日本专利 :CN116057551B ,2024-05-10

[10]

信息处理装置、信息处理方法以及存储介质 [P].

徐锦添 ;

李海军 ;

刘博 ;

吕洪震 .

中国专利 :CN110109728A ,2019-08-09

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