硅片绕扩装置及扩散炉

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202420227806.3
申请日
2024-01-30
公开(公告)号
CN222182554U
公开(公告)日
2024-12-17
发明(设计)人
尹丽丽 潘明翠 郎芳 李献朋 薛敬伟 于航 郭晓杰 史金超 于波
申请人
英利能源发展有限公司
申请人地址
071051 河北省保定市朝阳北大街3399号5号厂房227室
IPC主分类号
C30B31/16
IPC分类号
C30B29/06 H01L31/18 H01L21/67 H01L21/673
代理机构
河北国维致远知识产权代理有限公司 13137
代理人
赵宝琴
法律状态
授权
国省代码
北京市 市辖区
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共 50 条
[1]
扩散炉尾气处理系统及扩散炉 [P]. 
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卢俊峰 .
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[2]
扩散炉及扩散系统 [P]. 
舒大帅 .
中国专利 :CN218321749U ,2023-01-17
[3]
太阳能电池硅片扩散炉 [P]. 
蔡忠心 .
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[4]
太阳能电池硅片扩散炉 [P]. 
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[5]
太阳能电池硅片扩散炉 [P]. 
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王月勤 .
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[6]
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毛文龙 ;
祁文杰 ;
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一种扩散炉 [P]. 
王福强 ;
李邦勇 ;
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倪升辉 ;
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李丙科 .
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[10]
一种硅片的硼扩散方法及硼扩散炉 [P]. 
陈庆敏 ;
张海洋 ;
李丙科 .
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