一种连续镀膜设备及镀膜方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411297666.8
申请日
2024-09-18
公开(公告)号
CN119220935A
公开(公告)日
2024-12-31
发明(设计)人
阳志强 顾兴华 宁敏
申请人
江苏微芥子真空科技有限公司
申请人地址
210000 江苏省南京市建邺区高庙路10号南京市莫愁中等专业学校综合楼6层(部分)
IPC主分类号
C23C14/24
IPC分类号
C23C14/56 C23C14/54 C23C14/50
代理机构
上海笃学志远专利代理事务所(普通合伙) 31541
代理人
陈飞
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
镀膜设备及连续镀膜方法 [P]. 
辛科 ;
杨立红 .
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[2]
一种PVD连续镀膜设备及镀膜方法 [P]. 
邵海平 ;
刘莉云 ;
曹英朝 .
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[3]
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盛兆亚 ;
宋文庆 ;
王凯 ;
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[4]
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周志远 ;
曾齐旺 ;
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张国平 .
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[5]
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彭晓丽 ;
向勇 ;
牟成旭 ;
夏立 ;
蒲万锦 ;
贺金味 ;
苏兴 .
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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