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双面真空压膜装置及双面真空压膜方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310822156.7
申请日：
2023-07-05
公开(公告)号：
CN119275127A
公开(公告)日：
2025-01-07
发明(设计)人：
刘育成
陈明宗
申请人：
志圣科技（广州）有限公司
申请人地址：
510850 广东省广州市花都区狮岭镇利和路6号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
北京派特恩知识产权代理有限公司 11270
代理人：
康艳青;张铮铮
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
广东省
广州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20230705 |
| 2025-01-07 | 公开 | 公开 |