一种三轴MEMS加速度传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420445741.X

申请日：

2024-03-08

公开(公告)号：

CN222394076U

公开(公告)日：

2025-01-24

发明(设计)人：

华亚平苏佳乐

申请人：

安徽芯动联科微系统股份有限公司北京芯动致远微电子技术有限公司

申请人地址：

233042 安徽省蚌埠市财院路10号

IPC主分类号：

G01P15/125

IPC分类号：

G01P15/18 B81B7/02 B81C1/00

代理机构：

蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102

代理人：

王琪;陆淑贤

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省蚌埠市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-24	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS三轴加速度传感器 [P].

崔靖昀 ;

高伟 ;

苏宇航 ;

杨宁祥 ;

陈建勋 .

中国专利 :CN222561632U ,2025-03-04

[2]

一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造方法 [P].

华亚平 ;

苏佳乐 .

中国专利 :CN118243962A ,2024-06-25

[3]

MEMS加速度传感器 [P].

陈学峰 ;

钟利强 ;

杨小平 .

中国专利 :CN203385753U ,2014-01-08

[4]

MEMS加速度传感器 [P].

孙志远 .

中国专利 :CN206975061U ,2018-02-06

[5]

MEMS加速度传感器 [P].

杨斌 .

中国专利 :CN101871952A ,2010-10-27

[6]

三轴加速度传感器 [P].

苏伟 ;

刘俊伟 .

中国专利 :CN213633485U ,2021-07-06

[7]

三轴加速度传感器 [P].

谢国伟 ;

金怡 ;

颜培力 .

中国专利 :CN214585542U ,2021-11-02

[8]

三轴加速度传感器 [P].

陈学峰 ;

钟利强 ;

杨小平 .

中国专利 :CN103412147B ,2013-11-27

[9]

三轴加速度传感器 [P].

谢国伟 ;

金怡 ;

颜培力 .

中国专利 :CN214585541U ,2021-11-02

[10]

MEMS加速度传感器 [P].

亚历桑德鲁·罗基 ;

阿道夫·詹巴斯蒂亚尼 .

中国专利 :CN103185809A ,2013-07-03

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