光刻机对准方法、装置及光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411679364.7

申请日：

2024-11-22

公开(公告)号：

CN119356050A

公开(公告)日：

2025-01-24

发明(设计)人：

罗先刚李成建刘明刚

申请人：

天府兴隆湖实验室

申请人地址：

610000 四川省成都市天府新区科智路999号

IPC主分类号：

G03F9/00

IPC分类号：

G03F7/20

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-24	公开	公开
2025-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 9/00申请日:20241122

共 50 条

[1]

光刻机用晶圆对准装置及光刻机 [P].

张琪 ;

符友银 .

中国专利 :CN120010198A ,2025-05-16

[2]

对准装置、光刻机及对准方法 [P].

邢奕飞 ;

高安 ;

孙建超 .

中国专利 :CN114690594B ,2025-05-09

[3]

对准装置、光刻机及对准方法 [P].

邢奕飞 ;

高安 ;

孙建超 .

中国专利 :CN114690594A ,2022-07-01

[4]

对准装置、光刻机及对准方法 [P].

高安 ;

邢奕飞 ;

孙建超 .

中国专利 :CN114690596B ,2025-05-20

[5]

对准装置、光刻机及对准方法 [P].

高安 ;

邢奕飞 ;

孙建超 .

中国专利 :CN114690596A ,2022-07-01

[6]

光刻机对准方法 [P].

杨要华 ;

单英敏 .

中国专利 :CN101727011A ,2010-06-09

[7]

光刻机对准装置及其对准方法 [P].

马雨雷 ;

张品祥 ;

段立峰 ;

单世宝 .

中国专利 :CN102193320A ,2011-09-21

[8]

徐程 ;

宋兴龙 .

中国专利 :CN302290339S ,2013-01-16

[9]

徐程 ;

朱诚 .

中国专利 :CN302849891S ,2014-06-18

[10]

不公告设计人 .

中国专利 :CN302445849S ,2013-05-29

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