一种卷对卷真空镀膜机的控制系统及控制方法

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专利类型
发明
申请号
CN202210240920.5
申请日
2022-03-10
公开(公告)号
CN114525469B
公开(公告)日
2025-02-18
发明(设计)人
金湛 曹蔚琦 王亚栋 秦琴 夏文豪
申请人
重庆诺奖二维材料研究院有限公司
申请人地址
400700 重庆市北碚区云禾路70号201室
IPC主分类号
C23C14/02
IPC分类号
C23C14/54 C23C14/56
代理机构
广州市华学知识产权代理有限公司 44245
代理人
黄宗波
法律状态
授权
国省代码
重庆市
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共 50 条
[1]
一种卷对卷真空镀膜机的控制系统及控制方法 [P]. 
金湛 ;
曹蔚琦 ;
王亚栋 ;
秦琴 ;
夏文豪 .
中国专利 :CN114525469A ,2022-05-24
[2]
卷对卷镀膜机的抽真空控制系统及控制方法 [P]. 
曹蔚琦 ;
金湛 ;
骆中涛 ;
孟晓敏 ;
夏文豪 ;
冯霜 .
中国专利 :CN114525490A ,2022-05-24
[3]
真空镀膜机集成控制系统 [P]. 
马文鹏 ;
陈新 ;
赵刚 .
中国专利 :CN101638775A ,2010-02-03
[4]
并行卷对卷真空镀膜系统及真空镀膜方法 [P]. 
傅广生 ;
刘海旭 ;
于威 ;
杨彦斌 ;
李云 ;
路万兵 ;
王春生 .
中国专利 :CN106048562B ,2016-10-26
[5]
一种连续性卷对卷真空镀膜机 [P]. 
李正平 ;
李成林 .
中国专利 :CN109554669A ,2019-04-02
[6]
一种连续性卷对卷真空镀膜机 [P]. 
李正平 ;
李成林 .
中国专利 :CN209584358U ,2019-11-05
[7]
一种连续性卷对卷真空镀膜机 [P]. 
李正平 ;
李成林 .
中国专利 :CN109554669B ,2024-02-06
[8]
一种用于真空镀膜机的控制系统 [P]. 
严敬敬 ;
梁成民 ;
谈荣国 ;
田亮 ;
郭子豪 .
中国专利 :CN119710611A ,2025-03-28
[9]
一种卷对卷真空镀膜机的收料设备 [P]. 
来华杭 ;
娄国明 ;
施成亮 .
中国专利 :CN214989004U ,2021-12-03
[10]
一种用于真空镀膜机的控制系统 [P]. 
严敬敬 ;
梁成民 ;
谈荣国 ;
田亮 ;
郭子豪 .
中国专利 :CN119710611B ,2025-12-05