一种衍射光栅在线检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010529014.8

申请日：

2020-06-11

公开(公告)号：

CN111610006B

公开(公告)日：

2025-02-07

发明(设计)人：

周敢张邦武

申请人：

腾景科技股份有限公司

申请人地址：

350015 福建省福州市马尾科技园区茶山路1号1楼A栋五层、B栋三层(自贸试验区内)

IPC主分类号：

G01M11/02

IPC分类号：

G02B27/28

代理机构：

北京东方盛凡知识产权代理有限公司 11562

代理人：

王颖

法律状态：

授权

国省代码：

福建省福州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种衍射光栅在线检测装置 [P].

周敢 ;

张邦武 .

中国专利 :CN212228351U ,2020-12-25

[2]

一种衍射光栅在线检测装置 [P].

周敢 ;

张邦武 .

中国专利 :CN111610006A ,2020-09-01

[3]

一种平面衍射光栅衍射波前检测装置 [P].

王锦丽 .

中国专利 :CN216116665U ,2022-03-22

[4]

一种平面衍射光栅衍射波前检测装置 [P].

李德洪 .

中国专利 :CN216770807U ,2022-06-17

[5]

一种平面衍射光栅衍射波前检测系统 [P].

钱林勇 ;

黄元申 ;

徐邦联 ;

王琦 ;

张大伟 ;

陶春先 ;

倪争技 ;

庄松林 .

中国专利 :CN202735068U ,2013-02-13

[6]

衍射光栅检测装置以及检测方法 [P].

刘雄波 ;

严子深 ;

赵鹏 ;

李屹 .

中国专利 :CN117804739A ,2024-04-02

[7]

透射式衍射光栅以及检测装置 [P].

尼子淳 .

中国专利 :CN102841395A ,2012-12-26

[8]

一种衍射光栅垂直度的检测装置与方法 [P].

杨柳 ;

杨睿 ;

袁志林 ;

郭金平 ;

王凡 ;

马雨虹 .

中国专利 :CN109373933B ,2019-02-22

[9]

一种衍射光栅、衍射光栅波导系统及衍射光栅的制备方法 [P].

林引岳 ;

李婧铭 ;

宋晨源 ;

周子骥 .

中国专利 :CN118759625A ,2024-10-11

[10]

一种凹面衍射光栅衍射波前的检测方法 [P].

钱林勇 ;

黄元申 ;

徐邦联 ;

王琦 ;

张大伟 ;

陶春先 ;

倪争技 ;

庄松林 .

中国专利 :CN102706542A ,2012-10-03

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