硅片清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421190827.9

申请日：

2024-05-28

公开(公告)号：

CN222440545U

公开(公告)日：

2025-02-07

发明(设计)人：

张杰陆继波邹珉袁为进

申请人：

扬州阿特斯光电材料有限公司扬州阿特斯太阳能电池有限公司苏州阿特斯阳光电力科技有限公司

申请人地址：

225001 江苏省扬州市扬州市经济开发区扬子江中路186号智谷科技综合体D座5楼501-390

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

B08B3/02 B08B3/08 B08B3/14 B08B1/12 B08B1/30 B08B13/00

代理机构：

北京景闻知识产权代理有限公司 11742

代理人：

王雪兰

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-07	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片清洗装置 [P].

李兆颖 ;

周来平 ;

孟洁 .

中国专利 :CN217544554U ,2022-10-04

[2]

硅片清洗装置 [P].

姬丹丹 ;

张豹 ;

王锐廷 ;

吴仪 .

中国专利 :CN204216011U ,2015-03-18

[3]

硅片清洗装置及硅片清洗设备 [P].

朱伟 ;

谢宇宽 ;

季建 .

中国专利 :CN221657290U ,2024-09-06

[4]

硅片清洗装置 [P].

曹士妥 ;

霍志强 .

中国专利 :CN204107915U ,2015-01-21

[5]

硅片清洗装置 [P].

陈五奎 ;

刘强 ;

徐文州 ;

冯加保 ;

耿荣军 .

中国专利 :CN206535800U ,2017-10-03

[6]

硅片清洗装置 [P].

姜涛 ;

李世磊 .

中国专利 :CN212093489U ,2020-12-08

[7]

硅片清洗装置 [P].

吕海强 ;

郑安 ;

黄杨康 .

中国专利 :CN208195042U ,2018-12-07

[8]

硅片清洗装置 [P].

任金枝 ;

左国军 ;

周董娟 ;

申斌 ;

成旭 ;

谈丽文 .

中国专利 :CN222678966U ,2025-03-28

[9]

硅片清洗装置 [P].

王贝贝 .

中国专利 :CN203265121U ,2013-11-06

[10]

硅片清洗装置 [P].

蒋天琪 ;

程雪原 ;

杨雪梅 ;

周彬 ;

郑旭然 ;

王栩生 .

中国专利 :CN212069846U ,2020-12-04

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