一种净化台散热装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202420130065.7
申请日
2024-01-18
公开(公告)号
CN222352682U
公开(公告)日
2025-01-14
发明(设计)人
李学文 刘兵吉 肖训 廖羽中 钟志松
申请人
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请人地址
518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层
IPC主分类号
F25D31/00
IPC分类号
C23C16/50 H10F71/00 H01L21/67 F25D17/06 F25D17/02
代理机构
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人
张英凤
法律状态
授权
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
[1]
一种减压扩散炉净化台散热装置 [P]. 
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[2]
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[3]
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王周坤 ;
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王群罢 .
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[4]
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[5]
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[6]
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[9]
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[10]
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