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气体流量控制装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420763061.2
申请日：
2024-04-15
公开(公告)号：
CN222440558U
公开(公告)日：
2025-02-07
发明(设计)人：
古至良
申请人：
福建省良颐科技有限公司
申请人地址：
362203 福建省泉州市晋江市福兴东路罗山段3号
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
上海众象合一知识产权代理有限公司 31395
代理人：
王纪营
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-07 | 授权 | 授权 |