一种Z轴运动平台及使用方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411575643.9
申请日
2024-11-06
公开(公告)号
CN119419167A
公开(公告)日
2025-02-11
发明(设计)人
郝文楠 金建高 霍志军 高文泉
申请人
惠然微电子技术(无锡)有限公司
申请人地址
214063 江苏省无锡市滨湖区蠡园街道建筑西路599-5(2号楼)401-91
IPC主分类号
H01L21/687
IPC分类号
H01L21/683 H01L21/677 H01L21/66
代理机构
北京市隆安律师事务所 11323
代理人
付建军
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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