一种硅烷废气处理装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202421241351.7
申请日
2024-06-03
公开(公告)号
CN222368767U
公开(公告)日
2025-01-21
发明(设计)人
孙文成
申请人
安徽朗蔚环境科技有限公司
申请人地址
239200 安徽省滁州市来安县新安镇裕安西路80号
IPC主分类号
B01D53/79
IPC分类号
B01D53/04
代理机构
上海正择创一知识产权代理有限公司 31513
代理人
李慰祖
法律状态
专利权质押登记、变更及注销
国省代码
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共 50 条
[1]
一种废气处理装置 [P]. 
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[3]
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[6]
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[10]
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