一种用于STI技术的氧化铈抛光液及抛光条件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411533618.4

申请日：

2024-10-31

公开(公告)号：

CN119432234A

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

于博张强飞杨博张俊豪陈浩霖赵佳薇刘振国

申请人：

西北工业大学宁波研究院

申请人地址：

315000 浙江省宁波市高新区清逸路218弄智造港A区西北工业大学宁波研究院

IPC主分类号：

C09G1/02

IPC分类号：

H01L21/306

代理机构：

无锡市天宇知识产权代理事务所(普通合伙) 32208

代理人：

周舟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

陕西省西安市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C09G 1/02申请日:20241031
2025-02-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化铈抛光液 [P].

王溯 ;

蒋闯 ;

史筱超 ;

秦长春 .

中国专利 :CN120230481A ,2025-07-01

[2]

一种氧化铈抛光液的应用 [P].

王溯 ;

蒋闯 ;

杨杰 ;

沈学敏 .

中国专利 :CN120230483A ,2025-07-01

[3]

一种氧化铈抛光液的制备方法 [P].

王溯 ;

蒋闯 ;

李泽宇 .

中国专利 :CN120230482A ,2025-07-01

[4]

一种氧化铈抛光液的制备方法 [P].

熊长新 ;

许修宇 ;

何侃 .

中国专利 :CN117887356A ,2024-04-16

[5]

一种用于玻璃抛光的氧化铈液态悬浮抛光液 [P].

耿昌文 .

中国专利 :CN110499102A ,2019-11-26

[6]

一种纳米氧化铈抛光液及其制备方法 [P].

齐朝辉 ;

何晓艳 ;

张瑞敏 ;

许亚杰 .

中国专利 :CN110041831A ,2019-07-23

[7]

用于合金抛光的氧化铝抛光液及其制备方法 [P].

曾名辉 .

中国专利 :CN103937413A ,2014-07-23

[8]

一种玻璃抛光用水基氧化铈抛光液及其制备方法 [P].

周群飞 ;

何金名 .

中国专利 :CN109929460A ,2019-06-25

[9]

抛光液及应用该抛光液对CdS晶片抛光的抛光方法 [P].

李晖 ;

徐永宽 ;

程红娟 .

中国专利 :CN102952467A ,2013-03-06

[10]

氧化铈浆料、氧化铈抛光液以及使用其抛光衬底的方法 [P].

榎本和宏 ;

吉川茂 .

中国专利 :CN101291778A ,2008-10-22

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