一种氟化锂陶瓷靶材及其制备方法和用途

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411742309.8

申请日：

2024-11-29

公开(公告)号：

CN119430944A

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

姚力军张雪廖培君黄洁文

申请人：

宁波江丰电子材料股份有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

C04B35/553

IPC分类号：

C04B35/622

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

牛海燕

法律状态：

公开

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	公开	公开
2025-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/553申请日:20241129

共 50 条

[1]

一种氟化锂陶瓷靶材及其制备方法与应用 [P].

姚力军 ;

张雪 ;

吴东青 .

中国专利 :CN119430943A ,2025-02-14

[2]

一种氧化锡锌陶瓷靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

张兴宇 ;

罗斯诗 ;

李开杰 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN118930249A ,2024-11-12

[3]

一种单相陶瓷靶材及其制备方法和用途 [P].

贾婷婷 ;

刘聪 ;

姚竣翔 ;

樊子冉 ;

程振祥 .

中国专利 :CN108793993A ,2018-11-13

[4]

一种SrMoO3陶瓷靶材的制备方法 [P].

宋伟杰 ;

盛伟 ;

杨晔 ;

兰品军 ;

李佳 ;

黄金华 .

中国专利 :CN109928751A ,2019-06-25

[5]

氟化铝复合陶瓷及其制备方法 [P].

任佳乐 ;

旷峰华 ;

张洪波 ;

任瑞康 ;

司东方 .

中国专利 :CN111072387A ,2020-04-28

[6]

一种新的ZrO2陶瓷靶材制备方法 [P].

黄大勇 ;

韩绍娟 ;

许壮志 ;

薛健 ;

张明 ;

王世林 .

中国专利 :CN102086122A ,2011-06-08

[7]

一种氧化锡陶瓷靶材及其制备方法 [P].

纪生晓 ;

李强 ;

杨涛 ;

林智成 ;

官凌宇 .

中国专利 :CN120794609A ,2025-10-17

[8]

一种钼合金管靶材及其制备方法和用途 [P].

王广达 ;

熊宁 ;

弓艳飞 ;

牛曼 ;

杨亚杰 ;

季鹏飞 ;

李强 ;

王凤权 ;

常洋 .

中国专利 :CN114892134A ,2022-08-12

[9]

一种钼合金管靶材及其制备方法和用途 [P].

王广达 ;

熊宁 ;

弓艳飞 ;

牛曼 ;

杨亚杰 ;

季鹏飞 ;

李强 ;

王凤权 ;

常洋 .

中国专利 :CN114892134B ,2024-02-13

[10]

一种大尺寸钴酸锂陶瓷靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

滕晓朋 ;

吴东青 ;

廖培君 .

中国专利 :CN119874346A ,2025-04-25

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