共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
超导磁体组件、平面马达和光刻设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380049493.5
申请日：
2023-07-26
公开(公告)号：
CN119422312A
公开(公告)日：
2025-02-11
发明(设计)人：
R·F·M·M·哈梅林克
G·G·A·德格西姆
J·范杜凡波第
E·A·范德芬
R·J·H·韦瑟林克
申请人：
ASML荷兰有限公司
申请人地址：
荷兰
IPC主分类号：
H02K11/01
IPC分类号：
H02K41/03
H02K55/02
G03F7/00
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
毕杨
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-11 | 公开 | 公开 |
| 2025-08-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H02K 11/01申请日:20230726 |