一种电子束蒸发镀膜用镀锅

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411455367.2

申请日：

2024-10-18

公开(公告)号：

CN119332214A

公开(公告)日：

2025-01-21

发明(设计)人：

刘刚严帅帅冷祥魏明

申请人：

华辰芯光（无锡）半导体有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区锡梅路111-10号

IPC主分类号：

C23C14/30

IPC分类号：

C23C14/54

代理机构：

无锡市励新致远专利代理事务所(普通合伙) 32834

代理人：

肖照旭

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/30申请日:20241018
2025-01-21	公开	公开

共 50 条

[1]

电子束蒸发镀膜装置及电子束蒸发镀膜系统 [P].

杨建 ;

王雪戈 ;

冯治华 .

中国专利 :CN223373199U ,2025-09-23

[2]

电子束蒸发镀膜系统 [P].

艾金虎 .

中国专利 :CN214496458U ,2021-10-26

[3]

电子束蒸发镀膜装置 [P].

李萌萌 ;

黄添萍 ;

李兆营 .

中国专利 :CN118291927A ,2024-07-05

[4]

电子束蒸发镀膜设备 [P].

袁祖浩 ;

龚俊 ;

李勇 ;

张双景 ;

鲁彤 ;

李明 ;

王佳方 .

中国专利 :CN308435066S ,2024-01-23

[5]

一种电子束蒸发镀膜装置 [P].

王锦驰 ;

王一鸣 ;

江仲开 ;

杨展頔 .

中国专利 :CN223674725U ,2025-12-16

[6]

坩埚及电子束蒸发镀膜系统 [P].

黄涛 ;

王志强 ;

蔡永安 ;

白泽文 ;

徐希翔 .

中国专利 :CN222540859U ,2025-02-28

[7]

一种电子束蒸发镀膜设备及蒸发镀膜方法 [P].

杜鸿基 ;

陈亮 .

中国专利 :CN117127152B ,2025-12-12

[8]

一种电子束蒸发镀膜治具 [P].

张奇 ;

欧胜军 ;

詹胜超 ;

陈吉庆 .

中国专利 :CN215517610U ,2022-01-14

[9]

一种基于电子束蒸发镀膜的垂直蒸发镀膜伞 [P].

马溢华 .

中国专利 :CN117867450A ,2024-04-12

[10]

一种坩埚及电子束蒸发镀膜系统 [P].

蔡永安 ;

杨凯 ;

黄涛 ;

方同乐 .

中国专利 :CN222274666U ,2024-12-31

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