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一种集成光电子器件制造用清洁设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421298349.3
申请日：
2024-06-07
公开(公告)号：
CN222494563U
公开(公告)日：
2025-02-18
发明(设计)人：
石小军
申请人：
江西省泽普半导体科技有限公司
申请人地址：
343600 江西省吉安市井冈山市红星园区电子信息产业园6号楼
IPC主分类号：
B26D7/18
IPC分类号：
H05K3/00
B08B1/12
B08B1/30
B08B5/02
B08B15/04
代理机构：
南昌卓尔精诚专利代理事务所(普通合伙) 36133
代理人：
章敏文
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-18 | 授权 | 授权 |