气化装置、水蒸气处理系统和水蒸气处理方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410965967.7
申请日
2024-07-18
公开(公告)号
CN119436088A
公开(公告)日
2025-02-14
发明(设计)人
田中诚治
申请人
东京毅力科创株式会社
申请人地址
日本
IPC主分类号
F22B1/28
IPC分类号
F22B37/00 H01L21/67 H01L21/3213
代理机构
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人
龙淳;池兵
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
基片水蒸气处理方法和基片水蒸气处理系统 [P]. 
若林孝德 ;
伊藤毅 ;
安友淳志 .
日本专利 :CN115889280B ,2025-01-03
[2]
水蒸气处理装置和水蒸气处理方法 [P]. 
田中诚治 ;
山田洋平 ;
伊藤毅 .
日本专利 :CN111599712B ,2024-03-05
[3]
水蒸气处理装置和水蒸气处理方法 [P]. 
田中诚治 ;
山田洋平 ;
伊藤毅 .
中国专利 :CN111599712A ,2020-08-28
[4]
水蒸气化处理系统 [P]. 
续俊 ;
成柏强 ;
黄少华 .
中国专利 :CN207880804U ,2018-09-18
[5]
水蒸气处理炉 [P]. 
孙正军 ;
李士贤 ;
张建波 .
中国专利 :CN210457805U ,2020-05-05
[6]
水蒸气观测装置、水蒸气观测系统、水蒸气观测方法以及水蒸气观测程序 [P]. 
井上修平 ;
岩堀太纪 .
中国专利 :CN114902082A ,2022-08-12
[7]
水蒸气处理设备 [P]. 
郑宇佳 .
中国专利 :CN211753150U ,2020-10-27
[8]
过热水蒸气处理方法及过热水蒸气处理装置 [P]. 
青仓勇 ;
小岛环生 ;
内海省吾 ;
山田芳生 .
中国专利 :CN105090922A ,2015-11-25
[9]
水蒸气观测系统及水蒸气观测方法 [P]. 
奥村成皓 ;
高岛祐弥 ;
箕轮昌裕 ;
井上修平 .
中国专利 :CN113811795A ,2021-12-17
[10]
过热水蒸气处理装置 [P]. 
外村徹 ;
北野孝次 ;
西泽保辉 .
中国专利 :CN206235168U ,2017-06-09