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支撑托架
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411475233.7
申请日：
2017-02-09
公开(公告)号：
CN119340248A
公开(公告)日：
2025-01-21
发明(设计)人：
M·V·史密斯
G·M·加拉格尔
B·格雷格森
M·A·富勒
M·L·约翰逊
申请人：
恩特格里斯公司
申请人地址：
美国马萨诸塞州
IPC主分类号：
H01L21/673
IPC分类号：
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
李婷
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/673申请日:20170209 |
| 2025-01-21 | 公开 | 公开 |