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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-18 | 著录事项变更 | 著录事项变更IPC(主分类):C23C 14/54变更事项:发明人变更前:张茂 杨化雨 马云飞 张嘉城 王志洲 菜洪钧 王新云 金俊松 邓磊 龚攀 唐学峰变更后:张茂 杨化雨 马云飞 张嘉城 王志洲 蔡洪钧 王新云 金俊松 邓磊 龚攀 唐学峰 |
| 2025-01-28 | 授权 | 授权 |