外延生长方法及外延片

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411494740.5

申请日：

2024-10-24

公开(公告)号：

CN119351997A

公开(公告)日：

2025-01-24

发明(设计)人：

何斌斌俎世琦

申请人：

西安奕斯伟材料科技股份有限公司

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

C23C16/52

IPC分类号：

C23C16/455 H01L21/67

代理机构：

西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253

代理人：

宋东阳;王渝

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-24	公开	公开
2025-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/52申请日:20241024

共 50 条

[1]

外延生长方法及外延片 [P].

王娜 ;

俎世琦 ;

金柱炫 .

中国专利 :CN119913611A ,2025-05-02

[2]

外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118814269A ,2024-10-22

[3]

InGaAsP外延片的生长方法及外延片 [P].

王旭光 ;

邱晓升 ;

蔡蔚宏 ;

倪健 .

中国专利 :CN121126937A ,2025-12-12

[4]

外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN119685923A ,2025-03-25

[5]

外延生长方法及外延晶圆 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN119320986A ,2025-01-17

[6]

外延生长方法 [P].

曹雅典 .

中国专利 :CN117637444B ,2024-06-07

[7]

外延生长方法 [P].

曹雅典 .

中国专利 :CN117637444A ,2024-03-01

[8]

外延生长方法及外延生长装置 [P].

刘晨阳 ;

王力 .

中国专利 :CN119640396A ,2025-03-18

[9]

外延生长设备及外延生长方法 [P].

胡彬 ;

王朋 ;

段焕涛 ;

李文 .

中国专利 :CN118166419A ,2024-06-11

[10]

外延生长基座与外延生长方法 [P].

石桥昌幸 ;

J·F·克鲁格 ;

土肥敬幸 ;

堀江大造 ;

藤川孝 .

中国专利 :CN1526158A ,2004-09-01

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