进气装置及半导体设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310980357.X

申请日：

2023-08-04

公开(公告)号：

CN119433507A

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

顾世海杨牧龙孙中岳

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C30B31/16 C23C16/52 H01L21/67

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/455申请日:20230804
2025-11-11	授权	授权
2025-02-14	公开	公开

共 50 条

[1]

进气装置及半导体设备 [P].

顾世海 ;

杨牧龙 ;

孙中岳 .

中国专利 :CN119433507B ,2025-11-11

[2]

进气装置及半导体设备 [P].

赵万辉 .

中国专利 :CN211897166U ,2020-11-10

[3]

进气装置及半导体设备 [P].

王春 ;

徐刚 ;

郑波 ;

马振国 .

中国专利 :CN213146092U ,2021-05-07

[4]

进气装置及半导体设备 [P].

任晓滨 .

中国专利 :CN117823681A ,2024-04-05

[5]

半导体设备及进气装置 [P].

戴国兴 ;

曲洋 ;

赵东华 ;

孙中岳 ;

龚国腾 ;

袁福顺 ;

杨牧龙 ;

王磊磊 .

中国专利 :CN120138793A ,2025-06-13

[6]

进气装置、进气方法及半导体加工设备 [P].

赵雷超 ;

史小平 ;

兰云峰 ;

纪红 ;

秦海丰 ;

张文强 .

中国专利 :CN111074235A ,2020-04-28

[7]

进气装置、进气方法及半导体加工设备 [P].

赵雷超 ;

史小平 ;

兰云峰 ;

纪红 ;

秦海丰 ;

张文强 .

中国专利 :CN111074235B ,2024-01-05

[8]

进气装置及半导体加工设备 [P].

张文强 ;

史小平 ;

兰云峰 ;

秦海丰 ;

纪红 ;

赵雷超 .

中国专利 :CN111058012A ,2020-04-24

[9]

进气装置及半导体加工设备 [P].

田成益 ;

刘海鹰 .

中国专利 :CN105695957B ,2016-06-22

[10]

匀流组件、进气装置及半导体设备 [P].

兰立广 .

中国专利 :CN117438277A ,2024-01-23

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