基板処理装置、および基板処理装置における情報処理方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20230124548

申请日：

2023-07-31

公开(公告)号：

JP2025020913A

公开(公告)日：

2025-02-13

发明(设计)人：

SHIMIZU SHINJI

申请人：

SCREEN HOLDINGS CO LTD

申请人地址：

IPC主分类号：

G06T7/70

IPC分类号：

H01L21/304

代理机构：

代理人：

法律状态：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

基板処理装置、および基板処理装置における情報処理方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025005032A ,2025-01-16

[2]

情報処理装置、および、情報処理方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025146156A ,2025-10-03

[3]

情報処理装置、情報処理方法、および情報処理システム[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016158121A1 ,2018-01-25

[4]

情報処理装置、情報処理方法および情報処理システム[ja] [P].

MIZUSAWA NOBUTADA ;

TANAKA KATSUYA .

日本专利 :JP2024033661A ,2024-03-13

[5]

情報処理装置、情報処理方法および情報処理プログラム[ja] [P].

日本专利 :JP2022136936A ,2022-09-21

[6]

情報処理装置、情報処理方法、および情報処理プログラム[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016163342A1 ,2017-11-16

[7]

情報処理装置及び情報処理方法[ja] [P].

YAMAMURA YUSUKE .

日本专利 :JP2024096632A ,2024-07-17

[8]

情報処理装置、情報処理方法、およびプログラム[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010113690A1 ,2012-10-11

[9]

医用画像処理装置および画像処理方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2014103065A1 ,2017-01-12

[10]

基板処理装置およびその表示方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018179353A1 ,2019-11-07

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